MPCVD

MPCVD

WEC-MP6000d是最先进的CVD系统 能生产高质量的CVD钻石供各产业使用
MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)微波等离子化学气相沉淀法是指高纯度氢气在强大的微波作用下产生高能量的等离子火球,高纯度甲烷气体在等离子作用下变成游离的碳原子和氢原子,这些游离的碳原子在强大能量的等离子作用下会逐步按立体排列的方式沉积到底部的钻石种子上,使钻石种子逐步长厚形成与「天然钻石结构&成分」完全一样的CVD人工钻石。

技术特点

    高纯度级/电级钻石

    • 雷射切割(取芯/切片)解决方案
    • CVD钻石的颜色识别解决方案
    • 色彩增强解决方案
    • 抛光钻石解决方案

    • 更快长晶速度 - 比传统方法快10-100倍,有益单晶CVD工业化。
    • 更多产能产出 - 单批次更多产能、更大长晶反应腔体。
    • 更高质量性能 - 比天然钻石硬度更高、韧性更强。
    • 更多样化色彩 - 白色、黄色、粉红色、蓝色…等彩钻。
    • 更高钻石纯度 - 比天然钻石Type-II 更纯,适用光电、半导体…等应用。
    • 多样式客制化 - 可依市场不同需求(个人、文化、宗教…)客制化。

应用

    • 宝石级实验室钻石
    • 光学组件
    • 修整工具
    • 切割工具
    • 散热器
    • 电化学电极
    • 电力设备
    • 电气组件
    • 电子发射装置
    • 传感器,MEMS等

规格

    Microwave Power 6kW / 2.45GHz
    Reactor Chamber Material Stainless Steel
    Stage Type Water-cooling
    Standard Substrate Holder 50mm (Φ2inch)
    tandard Gas Channel
    (up to 6 channels)
    3 channels (H2/CH4/N2)
    Operating Pressure Range 10~200 torr
    Vacuum Leak Integrity
    (by He leak delector)
    < 1x10-9 mbar. l/sec
    Stage moving Z-axis
    Vacuum Pump Type (Standard) Rotary Vacuum Pump
    [18/22 m3/h (50/60Hz)]
    System Dimension (approx.) W1450xD840xH1950mm
    System Weight (approx.) 350kg